000 02557naa a2200349 c 4500
001 vtls000787343
003 RU-ToGU
005 20220914124106.0
007 cr |
008 201030s2020 ru fs 100 0 rus d
024 7 _a10.17223/9785946219242/281
_2doi
035 _ato000787343
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
245 1 0 _aФазовый состав и тонкая структура слоя Zr-Y-O в многослойных покрытиях Zr-Y-O / Si-Al-N
_cМ. В. Федорищева, М. П. Калашников, И. А. Божко, В. П. Сергеев
336 _aТекст
337 _aэлектронный
504 _aБиблиогр.: 5 назв.
653 _aструктурно-фазовые состояния
653 _aмногослойные покрытия
653 _aдиоксид циркония
653 _aимпульсное магнетронное распыление
655 4 _aстатьи в сборниках
_9713576
700 1 _aКалашников, Марк Петрович
_988745
700 1 _aБожко, Ирина Александровна
_979374
700 1 _aСергеев, Виктор Петрович
_d1949-
_985090
700 1 _aФедорищева, Марина Владимировна
_9118936
773 0 _tМеждународная конференция "Физическая мезомеханика. Материалы с многоуровневой иерархически организованной структурой и интеллектуальные производственные технологии", посвященная 90-летию со дня рождения основателя и первого директора ИФПМ СО РАН академика Виктора Евгеньевича Панина в рамках Международного междисциплинарного симпозиума "Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций", 5-9 октября 2020 года, Томск, Россия : тезисы докладов
_dТомск, 2020
_gС. 450-451
_z9785946219242
_wto000737236
852 4 _aRU-ToGU
856 4 _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000787343
908 _aстатья
999 _c472774