000 02207naa a2200337 c 4500
001 vtls000787161
003 RU-ToGU
005 20220805133835.0
007 cr |
008 201027s2020 ru fs 100 0 eng d
024 7 _a10.17223/9785946219242/286
_2doi
035 _ato000787161
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
245 1 0 _aCollimation of a sputtered flux during the glancing angle deposition of calcium phosphates
_cK. A. Prosolov, V. V. Lastovka, O. A. Belyavskaya, Yu. P. Sharkeev
336 _aТекст
337 _aэлектронный
504 _aБиблиогр.: 2 назв.
653 _aколлимация
653 _aфосфаты кальция
653 _aраспыленный флюс
655 4 _aстатьи в сборниках
_9713576
700 1 _aLastovka, V. V.
_9505814
700 1 _aBelyavskaya, Olga A.
_9506757
700 1 _aSharkeev, Yuriy P.
_d1950-
_9105414
700 1 _aProsolov, K. A.
_9505816
773 0 _tМеждународная конференция "Физическая мезомеханика. Материалы с многоуровневой иерархически организованной структурой и интеллектуальные производственные технологии", посвященная 90-летию со дня рождения основателя и первого директора ИФПМ СО РАН академика Виктора Евгеньевича Панина в рамках Международного междисциплинарного симпозиума "Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций", 5-9 октября 2020 года, Томск, Россия : тезисы докладов
_dТомск, 2020
_gС. 459
_z9785946219242
_wto000737236
852 4 _aRU-ToGU
856 4 _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000787161
908 _aстатья
999 _c472608