| 000 | 02347naa a2200385 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000709242 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20230131170043.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 200420s2019 ru fs 100 0 rus d | ||
| 035 | _ato000709242 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 245 | 1 | 0 |
_aВлияние различных стадий процессов ионной имплантации и отжига в МЛЭ HgCdTe на адмиттанс тестовых структур металл-диэлектрик-полупроводник _cА. В. Войцеховский, С. Н. Несмелов, С. М. Дзядух [и др.] |
| 504 | _aБиблиогр.: 3 назв. | ||
| 653 | _aмолекулярно-лучевая эпитаксия | ||
| 653 | _aметалл-диэлектрик-полупроводник | ||
| 653 | _aадмиттанс | ||
| 653 | _aэкспериментальные исследования | ||
| 653 | _aионная имплантация | ||
| 655 | 4 |
_aстатьи в сборниках _9713576 |
|
| 700 | 1 |
_aНесмелов, Сергей Николаевич _965140 |
|
| 700 | 1 |
_aДзядух, Станислав Михайлович _980402 |
|
| 700 | 1 |
_aИжнин, Игорь Иванович _991993 |
|
| 700 | 1 |
_aВаравин, Василий Семенович _990984 |
|
| 700 | 1 |
_aДворецкий, Сергей Алексеевич _990983 |
|
| 700 | 1 |
_aМихайлов, Николай Николаевич _cфизик _990964 |
|
| 700 | 1 |
_aЯкушев, Максим Витальевич _991994 |
|
| 700 | 1 |
_aСидоров, Георгий Юрьевич _9135906 |
|
| 700 | 1 |
_aВойцеховский, Александр Васильевич _964789 |
|
| 773 | 0 |
_tАктуальные проблемы радиофизики АПР 2019 : 8-я Международная научно-практическая конференция, 1-4 октября 2019 года, г. Томск : сборник трудов конференции _dТомск, 2019 _gС. 370 _wto000671718 |
|
| 852 | 4 | _aRU-ToGU | |
| 856 | 4 | _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000709242 | |
| 908 | _aстатья | ||
| 999 | _c466422 | ||