| 000 | 03939cam a2200697 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000669567 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922103348.0 | ||
| 008 | 191113s2018 ru ac b 000 0drus | ||
| 020 | _a13820000993296 | ||
| 020 | _a9785392282081 | ||
| 035 | _ato000669567 | ||
| 040 |
_aRuMoRKP _brus _dRuMoRGB _dRU-ToGU |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.315.592:621.382.049.77(075.8) | ||
| 080 | _a621.315.592-022.532:621.382-022.532(075.8) | ||
| 080 | _a621.315.592:548.4/5(075.8) | ||
| 084 |
_aЗ844.1-06я73-1 _2rubbk |
||
| 100 | 1 |
_aВоротынцев, Владимир Михайлович _998561 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aБазовые технологии микро- и наноэлектроники _bучебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" _cВ. М. Воротынцев, В. Д. Скупов |
| 260 |
_aМосква _bПроспект _c2018 |
||
| 300 |
_a519 с. _bил., табл. |
||
| 504 | _aБиблиогр. в конце гл. | ||
| 653 | _aучебные пособия для вузов | ||
| 653 | _aрадиоэлектронная аппаратура. | ||
| 653 | _aмикроэлектроника | ||
| 653 | _aвысокочистые материалы для электронной техники | ||
| 653 | _aглубокая очистка | ||
| 653 | _aхимические методы | ||
| 653 | _aэлектрохимические методы | ||
| 653 | _aдистилляционные методы | ||
| 653 | _aкристаллизационные методы | ||
| 653 | _aтехнологические схемы. | ||
| 653 | _aполупроводниковые подложки, обработка | ||
| 653 | _aполупроводниковые материалы. | ||
| 653 | _aконтроль качества подложек | ||
| 653 | _aполупроводники, технология получения | ||
| 653 | _aхимическое травление полупроводников | ||
| 653 | _aполирование полупроводников | ||
| 653 | _aприборные структуры, формирование | ||
| 653 | _aэпитаксиальные методы | ||
| 653 | _aосаждение диэлектрических слоев | ||
| 653 | _aлитографические процессы | ||
| 653 | _aдиффузионное легирование полупроводников | ||
| 653 | _aионно-лучевое легирование полупроводников | ||
| 653 | _aосаждение тонких пленок | ||
| 653 | _aрадиационно-термические обработки | ||
| 653 | _aкремний на диэлектрике, структуры | ||
| 653 | _aнаноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание | ||
| 653 | _aквантоворазмерные структуры | ||
| 653 | _aмикротехнологии в микросистемной технике | ||
| 653 | _aнанотехнологии в микросистемной технике | ||
| 653 | _aматериалы микроэлектроники, структурные дефекты | ||
| 653 | _aдефекты в кристаллах, классификация | ||
| 653 | _aкристаллы бездислокационные | ||
| 653 | _aдефектообразование в приборных структурах | ||
| 700 | 1 |
_aСкупов, Владимир Дмитриевич _9106190 |
|
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iВ758 _nru |
|
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c460467 | ||