| 000 | 02867nam a2200529 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000670189 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20211217101642.0 | ||
| 008 | 191120s2018 ru a b 000 0 rus|d | ||
| 020 | _a9785703848647 | ||
| 035 | _a009843295 | ||
| 040 |
_aRuMoRGB _brus _ercr _dRU-ToGU |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 044 | _aru | ||
| 080 | _a621.382.049.77-022.532(075.8) | ||
| 080 | _a621.382.049.77-022.532:66.011(075.8) | ||
| 084 |
_aЗ844.1-06я73-1 _2rubbk |
||
| 100 | 1 |
_aЦветков, Юрий Борисович _9498494 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aПроцессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2 _bучебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия"] _cЮ. Б. Цветков ; Московский гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана (нац. исслед. ун-т) |
| 260 |
_aМосква _bИздательство МГТУ им. Н. Э. Баумана _c2018 |
||
| 300 |
_a122, [1] с. _bил., табл., цв. ил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 52, 121 | ||
| 653 | _aучебные пособия для вузов. | ||
| 653 | _aмикроэлектроника, технологические процессы | ||
| 653 | _aинтегральные микротехнологии | ||
| 653 | _aинтегральные микросхемы, производство | ||
| 653 | _aКМОП-микросхемы | ||
| 653 | _aКМОП-технологии | ||
| 653 | _aмикроэлектромеханические системы | ||
| 653 | _aособенности производства | ||
| 653 | _aмикродатчики давления | ||
| 653 | _aчувствительные элементы датчиков | ||
| 653 | _aкремниевые пластины монокристаллические | ||
| 653 | _aкремниевые пластины, параметры | ||
| 653 | _aмонокристаллический кремний | ||
| 653 | _aмонокристаллы, выращивание. | ||
| 653 | _aкремниевые пластины, обработка | ||
| 653 | _aтермическое оксидирование | ||
| 653 | _aоксидирование, стадии | ||
| 653 | _aдиоксид кремния, свойства | ||
| 653 | _aдиоксид кремния, структура | ||
| 653 | _aДила-Гроува модель роста оксида | ||
| 653 | _aтермическое оксидирование промышленное | ||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iЦ274 _nru |
|
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c460257 | ||