000			03384nam a2200613 i 4500
001			vtls000657450
003			RU-ToGU
005			20210922102736.0
008			190531s2018 ru a b 000 0 rus|d
020			_a9785948364988
035			_ato000657450
040			_aRuMoRGB _brus _ercr _dRU-ToGU
041	0		_arus
044			_aru
080			_a681.586:621.382-181.48:629.7.05/06(075.8)
084			_aЗ965-044.3,07 _2rubbk
084			_aО567-04,07 _2rubbk
100	1		_aВавилов, Владимир Дмитриевич _9372330
245	1	0	_aМикросистемные датчики физических величин _bмонография в двух частях _cВ. Д. Вавилов, С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков
260			_aМосква _bТехносфера _c2018
300			_a549 с. _bил., табл.
490	1		_aМир электроники _vVII-60
504			_aБиблиогр.: с. 541-544
653			_aдатчики физических величин
653			_aмикросистемотехника
653			_aдатчики интегральные
653			_aдатчики микросистемные, узлы
653			_aдатчики микросистемные, элементы
653			_aдатчики микросистемные, параметры
653			_aдатчики микросистемные, характеристики
653			_aдатчики микросистемные, проектирование
653			_aдатчики микросистемные, расчет
653			_aпреобразователи обратные микросистемные
653			_aтермопреобразователи интегральные
653			_aдатчики микросистемные, функции передаточные
653			_aдатчики микросистемные, схемотехника
653			_aакселерометры интегральные
653			_aмикрогироскопы
653			_aдатчики микросистемные пьезорезонансные
653			_aмикромагнитометры
653			_aдатчики давления интегральные
653			_aдатчики влажности интегральные
653			_aрасходомеры интегральные жидкостей и газов
653			_aдатчики интегральные, оптимизация характеристик
653			_aдатчики интегральные, испытания
653			_aдатчики интегральные, тарировка
653			_aмикроэлектромеханические системы, надежность
653			_aавиационные приборы
700	1		_aТимошенков, Сергей Петрович _d1957- _986389
700	1		_aТимошенков, Алексей Сергеевич _9496779
830		0	_aМир электроники _9151446
852	4		_aRU-ToGU _h681.5 _iВ121 _nru
999			_c457166