| 000 | 01431naa a2200289 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000652108 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922101221.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 190411s2018 ru fs 100 0 rus d | ||
| 035 | _ato000652108 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 100 | 1 |
_aТаллер, Елена Викторовна _9492072 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aИсследование влияния процессов получения на свойства пленок Ga2O3 _cЕ. В. Таллер, П. С. Щербаков |
| 504 | _aБиблиогр.: 2 назв. | ||
| 653 | _aпленки оксида галлия | ||
| 653 | _aанодное окисление | ||
| 653 | _aоксидные пленки | ||
| 653 | _aарсенид галлия | ||
| 655 | 4 |
_aстатьи в сборниках _9713576 |
|
| 700 | 1 |
_aЩербаков, Петр Сергеевич _9248562 |
|
| 773 | 0 |
_tТруды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г. _dТомск, 2018 _gС. 223-226 _z9785895036198 |
|
| 852 | 4 | _aRU-ToGU | |
| 856 | 4 | _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000652108 | |
| 908 | _aстатья | ||
| 999 | _c449774 | ||