000 01604nam a2200277 c 4500
001 vtls000635204
003 RU-ToGU
005 20210910133502.0
007 cr |
008 181026s2018 ru a fsbm 000 0 rus d
035 _ato000635204
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
072 7 _a01.02.05
_2nsnr
100 1 _aЛяхов, Анатолий Александрович
_9479652
245 1 0 _aМоделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления
_hЭлектронный ресурс
_bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05
_cЛяхов Анатолий Александрович
256 _aЭлектронные текстовые данные
260 _aТомск
_b[б. и.]
_c2018
500 _aЗагл. с титульного экрана
534 _aЭлектронная копия печатного автореферата
650 7 _aмеханика жидкости, газа и плазмы
_2nsnr
_965787
655 4 _aавторефераты диссертаций
_9681163
776 0 _iПечатный автореферат
_wto000635213
852 4 _aRU-ToGU
_nru
856 7 _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000635204
999 _c441017