000 | 01604nam a2200277 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | vtls000635204 | ||
003 | RU-ToGU | ||
005 | 20210910133502.0 | ||
007 | cr | | ||
008 | 181026s2018 ru a fsbm 000 0 rus d | ||
035 | _ato000635204 | ||
040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
072 | 7 |
_a01.02.05 _2nsnr |
|
100 | 1 |
_aЛяхов, Анатолий Александрович _9479652 |
|
245 | 1 | 0 |
_aМоделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления _hЭлектронный ресурс _bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05 _cЛяхов Анатолий Александрович |
256 | _aЭлектронные текстовые данные | ||
260 |
_aТомск _b[б. и.] _c2018 |
||
500 | _aЗагл. с титульного экрана | ||
534 | _aЭлектронная копия печатного автореферата | ||
650 | 7 |
_aмеханика жидкости, газа и плазмы _2nsnr _965787 |
|
655 | 4 |
_aавторефераты диссертаций _9681163 |
|
776 | 0 |
_iПечатный автореферат _wto000635213 |
|
852 | 4 |
_aRU-ToGU _nru |
|
856 | 7 | _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000635204 | |
999 | _c441017 |