| 000 | 01313nam a2200241 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000635213 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20211203035143.0 | ||
| 008 | 181026s2018 ru a f bm 000 0 rus d | ||
| 035 | _ato000635213 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 072 | 7 |
_a01.02.05 _2nsnr |
|
| 100 | 1 |
_aЛяхов, Анатолий Александрович _9479652 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aМоделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления _bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05 _cЛяхов Анатолий Александрович |
| 260 |
_aТомск _b[б. и.] _c2018 |
||
| 300 |
_a24 с. _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 20-24 | ||
| 650 | 7 |
_aмеханика жидкости, газа и плазмы _2nsnr _965787 |
|
| 655 | 4 |
_aавторефераты диссертаций _9681163 |
|
| 776 | 0 |
_iЭлектронная копия печатного автореферата _wto000635204 |
|
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _nru |
|
| 999 | _c440824 | ||