000 | 01454naa a2200265 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | vtls000630849 | ||
003 | RU-ToGU | ||
005 | 20220527085310.0 | ||
008 | 180705s2002 ru a f 000 0 rus d | ||
035 | _ato000630849 | ||
040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
245 | 1 | 0 |
_aИсследование волноводов на кристалле ниобата лития, сформированных имплантацией гелия и диффузией меди _cМ. Н. Фролова, С. М. Шандаров, Ю. М. Ларионов и др. |
653 | _aфизика полупроводников | ||
653 | _aфизика диэлектриков | ||
653 | _aволноводы | ||
653 | _aкристаллы ниобата лития | ||
653 | _aпериодические структуры | ||
653 | _aдиффузия | ||
700 | 1 |
_aФролова, Марина Николаевна _9485205 |
|
700 | 1 |
_aШандаров, Станислав Михайлович _d1947- _961782 |
|
700 | 1 |
_aЛарионов, Ю. М. _9485556 |
|
773 | 0 |
_tСовременные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых) _dТомск, 2002 _gС. 106-108 _z5751115716 _w0180-46460 |
|
908 | _aстатья | ||
999 | _c438783 |