000 01454naa a2200265 c 4500
001 vtls000630849
003 RU-ToGU
005 20220527085310.0
008 180705s2002 ru a f 000 0 rus d
035 _ato000630849
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
245 1 0 _aИсследование волноводов на кристалле ниобата лития, сформированных имплантацией гелия и диффузией меди
_cМ. Н. Фролова, С. М. Шандаров, Ю. М. Ларионов и др.
653 _aфизика полупроводников
653 _aфизика диэлектриков
653 _aволноводы
653 _aкристаллы ниобата лития
653 _aпериодические структуры
653 _aдиффузия
700 1 _aФролова, Марина Николаевна
_9485205
700 1 _aШандаров, Станислав Михайлович
_d1947-
_961782
700 1 _aЛарионов, Ю. М.
_9485556
773 0 _tСовременные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых)
_dТомск, 2002
_gС. 106-108
_z5751115716
_w0180-46460
908 _aстатья
999 _c438783