| 000 | 02762nab a2200313 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000619097 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922093416.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 180111|2017 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 |
_a10.17223/19988621/50/7 _2doi |
|
| 035 | _ato000619097 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 100 | 1 |
_aЛяхов, Анатолий Александрович _9479652 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aЧисленный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда _cА. А. Ляхов, В. И. Струнин |
| 246 | 1 | 1 | _aNumerical analysis of the kinetics of chemical reactions in an argon-silane plasma of the glow discharge |
| 504 | _aБиблиогр.: 9 назв. | ||
| 520 | 3 | _aПутем численного решения уравнений диффузии для нейтральных компонентов с учетом протекания химических реакций в газовой фазе проведено моделирование состава аргон-силановой плазмы тлеющего разряда. Анализируется вклад наиболее значимых химических реакций в кинетику образования и гибели различных компонентов плазмы. Исследуется кинетика реагентов в зависимости от времени пребывания рабочего газа в разрядной зоне. Обсуждается вопрос о количестве компонентов, включаемых в модель. Показано, что для интервалов времени t ≤ 10−2 с компоненты SinHx (n ≥ 3) не существенны для моделирования химической кинетики пленкообразующих радикалов. | |
| 653 | _aсилановая плазма | ||
| 653 | _aпроцессы переноса в химически активной плазме | ||
| 653 | _aаморфный кремний | ||
| 655 | 4 |
_aстатьи в журналах _9745982 |
|
| 700 | 1 |
_aСтрунин, Владимир Иванович _9382261 |
|
| 773 | 0 |
_tВестник Томского государственного университета. Математика и механика _d2017 _g№ 50. С. 79-89 _x1998-8621 _w0210-41660 |
|
| 852 | 4 | _aRU-ToGU | |
| 856 | 7 | _uhttp://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000619097 | |
| 908 | _aстатья | ||
| 999 | _c430308 | ||