000 01102nam a2200229 c 4500
001 vtls000531732
003 RU-ToGU
005 20210922080524.0
008 160427s1976 ru a f bm 000 0 rus d
035 _ato000531732
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
072 7 _a02.00.04
_2nsnr
100 1 _aМиттова, Ирина Яковлевна
_982179
245 1 0 _aТермическое окисление кремния в присутствии примесей
_bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : 02.00.04
_cМиттова Ирина Яковлевна
260 _aВоронеж
_b[б. и.]
_c1976
300 _a17, [1] с.
_bил.
504 _aБиблиогр.: с. 17-18
650 7 _aфизическая химия
_2nsnr
_953871
653 _aавторефераты диссертаций
852 4 _aRU-ToGU
_nru
999 _c391499