| 000 | 01141nam a2200229 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000530003 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20220311104527.0 | ||
| 008 | 160411s1984 kz f bm 000 0 rus d | ||
| 035 | _ato000530003 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 072 | 7 |
_a01.04.07 _2nsnr |
|
| 100 | 1 |
_aКусаинов, Жетен Акрамович _9440586 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aИсследование процессов легирования кремния внедрением ионов 11B, 31P, 75As, 122Sb с энергией 1-10 кэВ _bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 _cКусаинов Жетен Акрамович |
| 260 |
_aАлма-Ата _b[б. и.] _c1984 |
||
| 300 | _a18 с. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 17-18 | ||
| 650 | 7 |
_aфизика твердого тела. _2nsnr _954389 |
|
| 653 | _aавторефераты диссертаций | ||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _nru |
|
| 999 | _c390788 | ||