| 000 | 01910naa a2200301 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000480370 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20211029104619.0 | ||
| 008 | 140619s2013 ru f 100 0 rus d | ||
| 035 | _ato000480370 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 100 | 1 |
_aСмирнов, А. П. _9194243 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aПатентно-информационные исследования применимости некогерентных источников удьтрафиолетового излучения в полупроводниковой промышленности _cА. П. Смирнов, А. Г. Ситников, Е. А. Новосельцева |
| 504 | _aБиблиогр.: 6 назв. | ||
| 653 | _aинновационные технологии | ||
| 653 | _aинновационные проекты | ||
| 653 | _aультрафиолетовое излучение | ||
| 653 | _aполупроводниковая промышленность | ||
| 653 | _aтруды ученых ТГУ | ||
| 653 | _aпатентно-информационные исследования | ||
| 653 | _aэксилампы | ||
| 700 | 1 |
_aСитников, Алексей Геннадьевич _977009 |
|
| 700 | 1 |
_aНовосельцева, Евгения Александровна _9235846 |
|
| 773 | 0 |
_tИнноватика - 2013 : сборник материалов IX Всероссийской школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых с международным участием (23-25 апреля 2013 г., Томск, Россия) _dТомск, 2013 _gС. 126-129 _z9785946214223 _wto000470336 |
|
| 852 | _aRU-ToGU | ||
| 908 | _aстатья | ||
| 999 | _c352451 | ||