000 01015naa a2200241 c 4500
001 vtls000483294
003 RU-ToGU
005 20210404184054.0
008 140714s2008 ru f 000 0 rus d
035 _ato000483294
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
100 1 _aНикулина, Л. Д.
_9399318
245 1 0 _aСинтез, свойства и применение пленок карбонитридов титана, циркония и тантала
_cЛ. Д. Никулина
504 _aБиблиогр.: 5 назв.
653 _aнанотехнологии
653 _aнаноматериалы полифункциональные
653 _aсинтез пленок
653 _aкарбонитриды
773 0 _tПолифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 2
_dТомск, 2008
_gТ. 2. С. 61-64
_z9785751118846
_wto000470814
852 _aRU-ToGU
908 _aстатья
999 _c337016