000 01396naa a2200313 i 4500
001 vtls000442218
003 RU-ToGU
005 20210404181026.0
008 130124s2008 ru f 100 0 rus d
035 _ato000442218
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
100 1 _aЮркин, Д. М.
_9392031
245 1 0 _aЗависимость характеристик сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3 от их микроструктуры
_cД. М. Юркин
653 _aтоксичные газы
653 _aзагрязняющие газы
653 _aоксид азота
653 _aсенсоры
653 _aрезистивные сенсоры
653 _aотжиг
653 _aэлектрические характеристики
653 _aгазочувствительные характеристики
653 _aпленки
653 _aтонкие пленки
653 _aтермообработка
773 0 _tФизика : материалы XLVI международной научной студенческой конференции "Студент и научно-технический прогресс", 27-30 апреля 2008 г.
_dНовосибирск, 2008
_gС. 177-178
_wto000434212
852 _aRU-ToGU
908 _aстатья
999 _c326557