| 000 | 02560nam a2200505 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000438282 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922055630.0 | ||
| 006 | m d z | ||
| 007 | cr ||| ||||| | ||
| 008 | 121122s2012 ru a sb 000 0 rus d | ||
| 020 | _a9785811412907 | ||
| 035 | _ato000438282 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 080 | _a621.315.592:54(075.8) | ||
| 100 | 1 |
_aАлександров, Сергей Евгеньевич _9390324 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология полупроводниковых материалов _bучебное пособие _cС. Е. Александров, Ф. Ф. Греков |
| 250 | _aИзд. 2-е, испр. | ||
| 260 |
_aСанкт-Петербург [и др.] _bЛань _c2012 |
||
| 300 |
_a230 с. _bил. |
||
| 490 | 1 | _aУчебники для вузов. Специальная литература | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 227 | ||
| 653 | _aучебные издания для вузов | ||
| 653 | _aполупроводниковые материалы, технология | ||
| 653 | _aматериалы электронной техники | ||
| 653 | _aбинарные соединения | ||
| 653 | _aфизические свойства | ||
| 653 | _aхимические свойства | ||
| 653 | _aкремний. | ||
| 653 | _aгерманий. | ||
| 653 | _aалюминий | ||
| 653 | _aгаллий | ||
| 653 | _aиндий | ||
| 653 | _aфосфор | ||
| 653 | _aмышьяк | ||
| 653 | _aочистка полупроводниковых материалов | ||
| 653 | _aсинтез полупроводниковых материалов | ||
| 653 | _aмонокристаллы, выращивание | ||
| 700 | 1 |
_aГреков, Федор Федорович _9390325 |
|
| 830 | 0 |
_aУчебники для вузов _pСпециальная литература _974739 |
|
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iА465 _nru |
|
| 856 | 4 | 0 |
_3ЭБС Лань _uhttp://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=3554 _nЭлектронное издание _zДоступ к полному тексту документа после регистрации пользователя на сайте http://e.lanbook.com/ в локальной сети ТГУ |
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c324495 | ||