000 01560naa a2200277 i 4500
001 vtls000418887
003 RU-ToGU
005 20221212175542.0
008 120109s2006 ru a f 100 0 rus d
035 _ato000418887
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
080 _a537.311.322:546.681'191.1
080 _a621.315.592:546.681'191.1
245 1 0 _aХарактеристики тонких пленок Pt/SnO2:Sb в режиме импульсного нагрева при воздействии ряда восстановительных газов
_cО. В. Анисимов, Н. К. Максимова, Е. Ю. Севастьянов, Е. В. Черников
504 _aБиблиогр.: 8 назв.
653 _aтонкие пленки
653 _aтруды ученых ТГУ
700 1 _aАнисимов, Олег Викторович
_9379074
700 1 _aМаксимова, Надежда Кузьминична.
_982322
700 1 _aСевастьянов, Евгений Юрьевич
_986738
700 1 _aЧерников, Евгений Викторович
_986739
773 0 _tДевятая конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V", 3-5 октября 2006 г., Томск, Россия : материалы конференции
_dТомск, 2006
_gС. 504-507
_wto000223791
852 _aRU-ToGU
908 _aстатья
999 _c308220