| 000 | 02289cam a2200361 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000417245 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922052456.0 | ||
| 008 | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d | ||
| 035 | _ato000417245 | ||
| 040 |
_aRuMoRKP _brus _dRuMoRGB _dRU-ToGU |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.382.049.77-022.532(075.8) | ||
| 100 | 1 |
_aКоролев, Михаил Александрович _9361476 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aУчебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Современные проблемы технологии наноэлектроники" _b[по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] _cМ. А. Королев ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т) |
| 260 |
_aМосква _bМИЭТ _c2011 |
||
| 300 |
_a27 с. _bил. _c20 см. |
||
| 490 | 1 | 0 | _aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 26 | ||
| 653 | _aучебные пособия для вузов | ||
| 653 | _aсамостоятельные работы | ||
| 653 | _aнаноэлектроника | ||
| 653 | _aМОП-транзисторы наноразмерные | ||
| 653 | _aинтегральные микросхемы кремниевые наноразмерные | ||
| 653 | _aинтегральные микросхемы наноразмерные, металлизация | ||
| 653 | _aтехнология интегральных микросхем | ||
| 653 | _aмикроминиатюризация МОП-транзисторов | ||
| 653 | _aМОП-транзисторы субмикронные | ||
| 830 |
_aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" _9189863 |
||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iУ912 _nru |
|
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c307920 | ||