| 000 | 02301cam a2200373 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000416953 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922052244.0 | ||
| 008 | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d | ||
| 020 | _a9785725606485 | ||
| 035 | _a005079642 | ||
| 040 |
_aRuMoRKP _brus _dRuMoRGB _dRU-ToGU |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.315.592.9-022.592:546.281:621.793 | ||
| 080 | _a621.38.049.77-022.532:546.281:621.793 | ||
| 100 | 1 |
_aГромов, Дмитрий Геннадьевич _9367683 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aУчебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" _cД. Г. Громов ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (технический ун-т) |
| 260 |
_aМосква _bМИЭТ _c2011 |
||
| 300 |
_a204 с. _bил. _c21 см. |
||
| 490 | 1 | 0 | _aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 188-201 | ||
| 650 | 7 |
_aИнтегральные схемы _xМеталлизация _vУчебные издания для высших учебных заведений _2nlr_sh _9378012 |
|
| 653 | _aинтегральные схемы сверхбольшие кремниевые | ||
| 653 | _aсилицидообразующие системы металл-кремний | ||
| 653 | _aсилицидные контактные слои | ||
| 653 | _aдиффузионно-барьерные слои | ||
| 653 | _aмедные многоуровневые межсоединения | ||
| 653 | _aметаллизация многослойная многоуровневая | ||
| 653 | _aDamascene, технология металлизации интегральных схем | ||
| 830 |
_aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" _9189863 |
||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iУ912 _nru |
|
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c306847 | ||