| 000 | 02363cam a2200385 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000416947 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922052225.0 | ||
| 008 | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d | ||
| 020 | _a9785725606478 | ||
| 035 | _a005042136 | ||
| 040 |
_aRuMoRKP _brus _ercr _dRuMoRGB _dRU-ToGU |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.38.049.77-022.532:621.793(075.8) | ||
| 084 |
_aЗ844.15-060.7я73-14 _2rubbk |
||
| 100 | 1 |
_aШевяков, Василий Иванович _d1952- _986391 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aУчебное пособие по дисциплине "Металлизация в системах с наноразмерными элементами" _b[по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] _cВ. И. Шевяков ; Моск. гос. ин-т электронной техники (технический ун-т) |
| 260 |
_aМосква _bМИЭТ _c2011 |
||
| 300 |
_a95 с. _bил., табл. _c21 см |
||
| 490 | 1 | 0 | _aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 93 | ||
| 650 | 7 |
_aИнтегральные схемы _xМеталлизация _vУчебные издания для высших учебных заведений _2nlr_sh _9378012 |
|
| 653 | _aнаноэлектроника | ||
| 653 | _aметаллизация многослойная многоуровневая | ||
| 653 | _aконтакты омические | ||
| 653 | _aконтакты выпрямляющие | ||
| 653 | _aконтакты омические силицидные | ||
| 653 | _aтепловая устойчивость контактных систем металлизации | ||
| 653 | _aконтактные системы металлизации | ||
| 653 | _aметаллизация многоуровневая | ||
| 830 |
_aУчебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" _9260617 |
||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iУ912 _nru |
|
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c306711 | ||