| 000 | 02027cam a2200361 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000416938 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922052221.0 | ||
| 008 | 120830s2011 ru a b 000 0 rus|d | ||
| 035 | _a005079646 | ||
| 040 |
_aRuMoRKP _brus _dRuMoRGB |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.38.049.77-022.532(076.5)(075.8) | ||
| 100 | 1 |
_aГолишников, Александр Анатольевич _9345400 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aЛабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" _b[по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] _cА. А. Голишников, М. Г. Путря ; Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т) |
| 260 |
_aМосква _bМИЭТ _c2011 |
||
| 300 |
_a100 с. _bил. _c21 см. |
||
| 490 | 1 | 0 | _aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" |
| 504 | _aБиблиогр. в конце работ | ||
| 653 | _aучебные пособия для вузов | ||
| 653 | _aлабораторные работы | ||
| 653 | _aинтегральные схемы | ||
| 653 | _aнаноэлектроника | ||
| 653 | _aдиэлектрические пленки | ||
| 653 | _aтонкие пленки | ||
| 653 | _aмагнетронное распыление | ||
| 653 | _aплазменное травление | ||
| 700 | 1 |
_aПутря, Михаил Георгиевич _9345401 |
|
| 830 |
_aУчебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника" _9189863 |
||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h621.3 _iУ912 _nru |
|
| 908 | _aучебник | ||
| 999 | _c306676 | ||