000			03335cam a2200577 i 4500
001			vtls000414703
003			RU-ToGU
005			20210922051918.0
008			120830s2007 ru a f b 000 0 rus|d
020			_a9785876231327
035			_a003086192
040			_aRuMoRKP _brus _ercr _dRuMoRGB _dRU-ToGU
041	0		_arus
080			_a621.315.5-022.53:546.28
080			_a538.91/93-022.53:546.28
084			_aЗ844.1-03,0 _2rubbk
245	1	0	_aТехнология материалов микро- и наноэлектроники _bк 75-летию Московского Государственного института стали и сплавов (Технологического университета) _cЛ. В. Кожитов, В. Г. Косушкин, В. В. Крапухин, Ю. Н. Пархоменко
260			_aМосква _bМИСИС _c2007
300			_a542, [1] с. _bил., табл. _c24 см
490	1	0	_aМеталлургия и материаловедение XXI века
504			_aБиблиогр.: с. 539-543
653			_aматериалы наноэлектроники
653			_aкремний полупроводниковый
653			_aнанополирование поверхности
653			_aнанокомпозиты металлополимерные
653			_aэпитаксия парофазная химическим осаждением
653			_aмонокристаллы полупроводников
653			_aрост монокристаллов
653			_aрадиационная стойкость кремния
653			_aтермическая обработка кремния
653			_aматериалы электроники твердотельной
653			_aэпитаксия кремния
653			_aполиакрилонитрил пиролизованный
653			_aкремниевые слои скрытые диэлектрические
653			_aкремниевые слои скрытые полупроводниковые
653			_aкремниевые слои скрытые проводящие
653			_aионно-лучевой синтез
653			_aимплантированные слои кремния
653			_aматематические модели теплопереноса
653			_aматематические модели массопереноса
653			_aметоды нелинейной динамики
653			_aкремний монокристаллический
653			_aэлектроника кремниевая
700	1		_aКожитов, Лев Васильевич _9376854
700	1		_aКосушкин, Виктор Григорьевич _9376855
700	1		_aКрапухин, Всеволод Валерьевич _974182
700	1		_aПархоменко, Юрий Николаевич _9334421
830			_aМеталлургия и материаловедение XXI века _9339908
852	4		_aRU-ToGU _h621.3 _iТ384 _nru
999			_c305182