000			03459cam a2200529 i 4500
001			vtls000405420
003			RU-ToGU
005			20210922045748.0
008			120830s2010 ru a b 000 0 rus|d
020			_a9785769547126
035			_ato000405420
040			_aRuMoRKP _brus _ercr _dRuMoRGB _dRU-ToGU
041	0		_arus
080			_a621.315.592:538.9(075.8)
080			_a621.315.592:541.1(075.8)
084			_aГ5я732-1 _2rubbk
084			_aЗ844-06-1с45я73-1 _2rubbk
100	1		_aТомилин, Виктор Иванович _9370150
245	1	0	_aФизико-химические основы технологии электронных средств _bучебник для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Проектирование и технология электронно-вычислительных средств" направления "Проектирование и технология электронных средств _cВ. И. Томилин
260			_aМосква _bАкадемия _c2010
300			_a409, [1] с. _bил., табл. _c22 см
490	1	0	_aВысшее профессиональное образование
504			_aБиблиогр.: с. 404-405
653			_aучебные пособия для вузов
653			_aполупроводниковые материалы, технология
653			_aполупроводниковые материалы, термодинамическое описание свойств
653			_aполупроводниковые материалы, кристаллические структуры
653			_aхимические равновесия
653			_aхимические превращения
653			_aкристаллография геометрическая
653			_aтермодинамика растворов
653			_aфазовые равновесия
653			_aтермодинамика необратимых процессов
653			_aхимическая кинетика
653			_aдиффузионная кинетика (физическая химия)
653			_aполупроводниковые материалы, адсорбция
653			_aмежфазные взаимодействия
653			_aполупроводниковые структуры, зародышеобразование
653			_aполупроводниковые структуры, эпитаксиальное выращивание
653			_aрост кристаллов полупроводников
653			_aполупроводниковые материалы, химическое осаждение
653			_aтехнология полупроводниковых материалов, анализ термодинамический
830			_aВысшее профессиональное образование _969925
852	4		_aRU-ToGU _h621.3 _iТ564 _nru
908			_aучебник
999			_c294567