000 01353nam a2200217 i 4500
001 vtls000205560
003 RU-ToGU
005 20210922033359.0
008 091029s2005 ru a f bm 000 0 rus d
035 _ato000205560
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
100 1 _aБулатов, Андрей Николаевич.
_9342471
245 1 0 _aФормирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин
_bавтореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.01
260 _aМ.
_bб. и.
_c2005
300 _a22 с.
_bил.
504 _aБиблиогр.: с. 21-22
650 0 7 _aТвердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
_2БВАК2000N3
_9129311
653 _aавторефераты диссертаций
852 4 _aRU-ToGU
_h62
_nru
999 _c254573