000			03472nam a2200685 i 4500
001			vtls000344233
003			RU-ToGU
005			20210922030749.0
008			120827s2007 ru a f b 000 0 rusdd
017			_a07-16098 _bRuMoRKP
020			_a9785948361017
020			_a5948361017
020			_a5948361012
035			_a(RU-RKP)ru07-024044RKP
040			_aRuMoRKP _brus _cRU-RKP _dRU-ToGU
041	0		_arus
080			_a621.315.57-022.532:546.281(075.8)
080			_a621.38-022.532::546.281(075.8)
080			_a538.971::546.281(075.8)
084			_a24.1 _2rubbkm
100	1		_aГерасименко, Николай Николаевич _9334419
245	1	0	_aКремний - материал наноэлектроники _b[учебное пособие для вузов по направлениям подготовки 210600 "Нанотехнология" и 210100 "Электроника и микроэлектроника"] _cН. Герасименко, Ю. Пархоменко
260			_aМосква _bТехносфера _c2007
300			_a351 с. _bил. _c22 см.
490	1	0	_aМир материалов и технологий _vVI-12
504			_aБиблиогр. в конце гл.
650		7	_aКремний _xКристаллы _xВыращивание _2RuMoRKP _9334420
650		7	_aНаноструктуры (физ.) _2RuMoRKP _9253005
650		7	_aнаноэлектроника _2RuMoRKP _9203812
653			_aнаноэлектроника кремниевая
653			_aмонокристаллы кремния
653			_aионная имплантация
653			_aнанокристаллы кремния
653			_aнанокристаллические пленки
653			_aнаноразмерные структуры
653			_aсинхротронное излучение
653			_aсканирующая зондовая микроскопия
653			_aструктуры с квантовыми точками
653			_aнанопроволоки кремния
653			_aуглеродные нанотрубки
653			_aнанотрубки кремниевые
653			_aповерхности полупроводников
653			_aквантовые точки имплантированные
653			_aкремниевая одноэлектроника
653			_aквантово-размерные структуры
653			_aмолекулярно-лучевая эпитаксия
653			_aодноэлектронные приборы кремниевые
653			_aквантование размерное
653			_aкулоновская блокада
653			_aатомы примесные
653			_aкубиты
653			_aквантовые компьютеры
653			_aучебные пособия для вузов
700	1		_aПархоменко, Юрий Николаевич _9334421
830			_aМир материалов и технологий _976264
852	4		_aRU-ToGU _h621.3 _iГ37 _nru
908			_aучебник
920			_a978-5-94836-101-7 _bв пер. _93000 экз.
999			_c243384