| 000 | 02485nam a2200421 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000344940 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922021354.0 | ||
| 008 | 120827s1987 ru ad f b 000 0 rus d | ||
| 035 | _ato000344940 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU |
||
| 080 | _a621.791.927.55:621.382(048.8)"1980/1987" | ||
| 100 | 1 |
_aТаран, Владимир Маркович. _9302720 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aОборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники _b(по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.) _cВ. М. Таран, В. И. Орлов |
| 260 |
_aМ. _bЭлектроника _c1987 |
||
| 300 |
_a49, [1] с. _bил. |
||
| 490 | 1 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике _nСерия 7 _pТехнология, организация производства и оборудование _vвып. 16 (1317) |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 48-50 | ||
| 653 | _aплазменная обработка материалов | ||
| 653 | _aматериалы электронной техники | ||
| 653 | _aплазменные устройства | ||
| 653 | _aплазмотроны | ||
| 653 | _aнапыление порошковых материалов | ||
| 653 | _aплазменные ускорители | ||
| 653 | _aмагнетронные распылительные системы | ||
| 653 | _aреакторы плазменного травления | ||
| 653 | _aионные источники плазменные | ||
| 653 | _aвакуумная техника | ||
| 653 | _aплазменное оборудование | ||
| 653 | _aионное травление | ||
| 653 | _aплазмохимическое травление | ||
| 653 | _aплазменно-дуговое напыление | ||
| 653 | _aнанесение тонких пленок | ||
| 700 | 1 |
_aОрлов, Василий Иванович. _9299616 |
|
| 830 |
_aОбзоры по электронной технике _nСерия 7 _pТехнология, организация производства и оборудование _9302721 |
||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _nru |
|
| 999 | _c225892 | ||