| 000 | 01401nam a2200217 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000204650 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922012820.0 | ||
| 008 | 091029s2005 ru a f bm 000 0 rus d | ||
| 035 | _a0209-81060 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU _ePSBO |
||
| 100 | 1 |
_aЛюбимский, Владимир Михайлович. _9287214 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aПроблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния _bавтореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.01 |
| 260 |
_aНовосибирск _b[б. и.] _c2005 |
||
| 300 |
_a37 с. _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 31-37 | ||
| 650 | 0 | 7 |
_aТвердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. _2БВАК2004N3 _9129311 |
| 653 | _aавторефераты диссертаций. | ||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h1-925774к _i53 _nru |
|
| 999 | _c208639 | ||