| 000 | 02053nam a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000173578 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210922000630.0 | ||
| 008 | 120827s1983 ru a f b 000 0 rus d | ||
| 035 | _a0177-95960 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU _ePSBO |
||
| 080 | _a539.216.2:539.216.2:548.4 | ||
| 245 | 1 | 0 |
_aМетоды контроля макродефектов диэлектрических покрытий _b(По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. ) _cИ. С. Суровцев, Г. А. Кузнецова, С. С. Булгаков, В. Ф. Сыноров |
| 260 |
_aМ. _bЭлектроника _c1983 |
||
| 300 |
_a51, [1] с. _bрис. |
||
| 490 | 1 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике _nСерия 3. "Микроэлектроника" _vВып. 3 (947) |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 45-51 | ||
| 653 | _aдиэлектрические пленки. | ||
| 653 | _aтонкие пленки. | ||
| 653 | _aдвуокись кремния. | ||
| 653 | _aпланарная технология. | ||
| 653 | _aпористость. | ||
| 653 | _aмакродефекты сквозные. | ||
| 653 | _aтермическое окисление. | ||
| 653 | _aдиффузия. | ||
| 653 | _aэпитаксия. | ||
| 653 | _aметоды контроля. | ||
| 700 | 1 |
_aСуровцев, Игорь Степанович. _9129788 |
|
| 700 | 1 |
_aКузнецова, Галина Алексеевна. _9257625 |
|
| 700 | 1 |
_aБулгаков, Станислав Сергеевич. _9225224 |
|
| 700 | 1 |
_aСыноров, Владимир Федорович. _9170102 |
|
| 830 |
_aОбзоры по электронной технике _nСерия 3. "Микроэлектроника" _9257626 |
||
| 852 | 4 |
_aRU-ToGU _h1-515598 _i539 _nru |
|
| 999 | _c175752 | ||