000 01295nam a2200217 4500
001 vtls000043727
003 RU-ToGU
005 20210921105837.0
008 091028s1998 ru f mb 000 0 rus d
035 _a0046-24660
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
_ePSBO
100 1 _aСуворинов, Александр Владимирович.
_9121159
245 1 0 _aРазвитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники
_bАвтореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.27.07
260 _aМ.
_c1998
300 _a34 с.
504 _aБиблиогр.: с. 31-34
650 0 7 _aОборудование производства электронной техники.
_2БВАК1995N4
_9121160
653 _aавторефераты диссертаций.
852 4 _aRU-ToGU
_h1-852006к
_i62
_nru
999 _c15638