000 01697nam a2200433 4500
001 vtls000044457
003 RU-ToGU
005 20210921105444.0
008 990517s1998 ru a f b 000 | rus d
020 _a5864830739
035 _a0046-98760
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
_ePSBO
080 _a621.382(063)
111 0 _aНаучно-техническая конференция АООТ "НИИМЭ и завод "МИКРОН"
_n1-я.
_9119918
245 1 0 _aСборник трудов. . .
_cПод ред. Г. Я. Красникова; АО "Концерн "Научный центр"
260 _aМ.
_aЗеленоград
_c1998
300 _a288 с.
_bил.
653 _aмикросхемы.
653 _aмикроэлектроника.
653 _aтранзисторы.
653 _aтехнологии.
653 _aлазерные компакт-диски.
653 _aCD-ROM.
653 _aдиэлектрики.
653 _aрезисторы.
653 _aволоконнооптическая связь.
653 _aмоделирование.
653 _aтехнология.
653 _aСАПР.
653 _aсхемотехника.
653 _aполупроводники.
653 _aпленки.
653 _aсплавы.
653 _aматериаловедение.
653 _aинтегральные микросхемы.
653 _aсубмикронная технология.
852 4 _aRU-ToGU
_h1-837517к
_i621.382
_nru
999 _c14167