000 01658nam a2200325 4500
001 vtls000129050
003 RU-ToGU
005 20220425102540.0
008 020312s1972 ru a f b 000 0 rus d
035 _a0132-70960
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
_ePSBO
080 _a537.311.322:548.4
100 1 _aБолтакс, Борис Иосифович.
_9164826
245 1 0 _aДиффузия и точечные дефекты в полупроводниках
_cБ. И. Болтакс ; Акад. наук СССР, Физико-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
260 _aЛенинград
_bНаука, Ленинградское отделение
_c1972
300 _a383, [1] с.
_bил.
504 _aБиблиогр. в конце глав
653 _aдиффузия примесей в полупроводниках
653 _aполупроводники
653 _aточечные дефекты в кристаллах
653 _aполупроводниковые кристаллы
653 _aдиффузия в германии
653 _aдиффузия в кремнии
653 _aдиффузия в окислах
653 _aрастворимость примесей в полупроводниках
653 _aраспад твердых растворов пересыщенных
653 _aповерхности полупроводников
852 4 _aRU-ToGU
_h537
_iБ796
_nru
999 _c128998