000 00667nam a2200169 4500
001 vtls000125843
003 RU-ToGU
005 20210921220720.0
008 020211 1983 ru 00| | rus
035 _a0129-47660
040 _aRU-ToGU
_brus
_cRU-ToGU
_ePSBO
100 1 _aКирсанова, Татьяна Сергеевна.
_9210764
245 1 0 _aФормирование тонких пленок
_bУчебное пособие
_cТ. С. Кирсанова
260 _aЛ.
_bБ.и.
_c1983
300 _a70 с.
999 _c125187