| 000 | 00744nam a2200169 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000115499 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20210921214518.0 | ||
| 008 | 011108 1979 ru 00| | rus | ||
| 035 | _a0119-04060 | ||
| 040 |
_aRU-ToGU _brus _cRU-ToGU _ePSBO |
||
| 100 | 1 |
_aКурносов, Анатолий Иванович. _9164868 |
|
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем _cА. И. Курносов |
| 260 |
_aМ. _bВысшая школа _c1979 |
||
| 300 | _a366 с. | ||
| 999 | _c114902 | ||