000 01087nam a2200241 4500
001 vtls000115211
003 RU-ToGU
005 20210921214437.0
008 970708s1985 __ 00| | rus d
035 _a0118-74960
035 _a(RU-ToGU)ru85-41152
040 _aRKP
_brus
_cRU-ToGU
_dRU-ToGU
_ePSBO
041 1 _arus
_heng
080 _a669.046.516.2-982:537.534
245 1 0 _aИонная имплантация
_cПод ред. Дж. К. Хирвонена; Пер. с англ. И. Я. Бокшицкого и др.
260 _aМ.
_bМеталлургия
_c1985
300 _a391 с.
_bил.
_c22 см
500 _aПеревод изд.: Ion implantation (New York etc., 1980)
650 7 _aМеталлы - Легирование ионное - Сборники.
_2rurkp
_9202488
700 1 _aХирвонен, Дж. К.
_eредактор
_4edt
_9202489
700 1 _aЕлютин, О. П.
_eредактор
_4edt
_9202490
999 _c114604