Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент (1)
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- 6 месяцев (1)
- Выдается в читальный зал (2)
-
Topics
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- имплантированные слои кремния (1)
- интегральные микротехнологии (1)
- ионно-лучевой синтез (1)
- кремниевые слои скрытые диэлектрические (1)
- кремниевые слои скрытые полупроводниковые (1)
- кремниевые слои скрытые проводящие (1)
- кремний монокристаллический (1)
- кремний полупроводниковый (1)
- математические модели массопереноса (1)
- математические модели теплопереноса (1)
- материалы наноэлектроники (1)
- материалы электроники твердотельной (1)
- эпитаксия кремния (2)
- Show more
- Show less