Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент (1)
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- 1 месяц (1)
- 6 месяцев (1)
- Выдается в читальный зал (1)
-
Topics
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- автоматизированное производство гибкое (1)
- вакуумно-технические требования (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- интегральные микротехнологии (1)
- интегральные схемы, технология изготовления (1)
- ионные пучки фокусированные (1)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (1)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (1)
- микроэлектроника, методы электронографические (1)
- микроэлектроника, технологические процессы (1)
- наноэлектроника, технологические процессы (1)
- нитрид кремния, осаждение (1)
- обработка материалов (1)
- оптоэлектроника, технологические процессы (1)
- Show more
- Show less