Normal view
MARC view
Учебное пособие по дисциплине "Технология наносистем" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника] С. П. Тимошенков, В. В. Калугин ; Нац. исслед. ун-т "МИЭТ"
Material type: TextSeries: Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"Publication details: Москва МИЭТ 2011Description: 199 с. илISBN: 9785725606638Subject(s): учебно-методические комплексы | микроэлектроника | наноэлектроника | наноструктуры кремниевые | кремний-на-изоляторе, технология | травление кремния жидкостное | травление кремния плазмохимическое | наноимпринт-процессы | платы коммутационные | наноэлектронные системы, герметизация | кремниевые пластины | пайка наноэлектронных систем | сборка наноэлектронных систем | монтаж наноэлектронных схемItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 2-006707к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000816010 |
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.