Normal view
MARC view
Технология полупроводниковых приборов [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"] И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров
Material type: TextPublication details: Москва Высшая школа 1984Description: 287, [1] сSubject(s): учебные пособия для вузов | полупроводниковые приборы, технология | омические контакты | поверхности полупроводников, обработка | конструкции полупроводниковых приборов | контроль технологических процессов | полупроводниковые материалы, обработка | фотохимические процессы | интегральные микросхемы, производство | эпитаксиальные процессы | электронно-дырочные структуры | Ионное легирование | диффузия | контактные системы | защита поверхности полупроводников | покрытия полупроводников органическиеGenre/Form: учебные издания Online resources: Click here to access onlineItem type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
6 месяцев | Научная библиотека ТГУ Абонемент | 621.38 П364 (Browse shelf(Opens below)) | Checked out | 14/04/2023 | 13820000782450 | |
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-552589к (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000783468 |
Библиогр.: с. 287
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.