Refine your search
Availability
-
bib-level
-
Authors
- Брудный, Павел Александрович (1)
- Великовский, Леонид Эдуардович (1)
- Голишников, Александр Анатольевич (4)
- Демченко, Ольга Игоревна (1)
- Ефремов, Александр Михайлович (1)
- Кузнецова, Е. Г. (1)
- Путря, Михаил Георгиевич (4)
- Светцов, Владимир Иванович (1)
- Филиппов, Иван Андреевич (1)
- Шахнов, Вадим Анатольевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (4)
- Читальный зал 5 (1)
-
Item types
-
Topics
- Газовые разряды в хлоре (1)
- Кинетика (1)
- МОП-транзисторы (1)
- Плазма(физ.) низкотемпературная (1)
- Применение в производстве микросхем (1)
- Травление (1)
- взаимодействие частиц плазмы с металлами (1)
- взаимодействие частиц плазмы с полупроводниками (1)
- гетероструктуры (1)
- диэлектрические пленки (1)
- имплантация ионно-плазменная (1)
- имплантация ионно-пучковая (1)
- интегральные схемы (2)
- интегральные схемы сверхбольшие (2)
- ионно-плазменное легирование (2)
- наноэлектроника (4)
- плазменное травление (6)
- плазменные технологии (3)
- тонкие пленки (3)
- учебные пособия для вузов (3)
- Show more
- Show less