Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
-
Topics
- Больцмана уравнение (1)
- газовые разряды (1)
- диссертации (1)
- интегральные схемы кремниевые (1)
- интегральные схемы сверхбольшие (1)
- ионно-плазменное легирование (1)
- кинетика электронов неравновесная (1)
- кинетические процессы (1)
- математические модели (1)
- механика жидкости, газа и плазмы (1)
- наноэлектроника (1)
- плазма аргоновая (1)
- плазма высокочастотная аргон-силановая (1)
- плазма газоразрядная силановая (1)
- плазма слабоионизированная запыленная (1)
- плазма тлеющего разряда (1)
- плазменное осаждение (2)
- плазменное травление (1)
- плазменные технологии (2)
- пленки микрокристаллического кремния (1)
- Show more
- Show less