|
2.
|
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах [В. А. Гриценко, А. П. Елисеев, М. В. Иванов и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев, В. А. Гриценко ; Российская акад. наук, Сибирское отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А. В. Ржанова [и др.] by Гриценко, Владимир Алексеевич | Елисеев, Александр Павлович | Иванов, М. В | Асеев, Александр Леонидович, 1946- [edt]. Series: Интеграционные проекты СО РАНMaterial type: Text; Format:
print
; Literary form:
Not fiction
; Audience:
Specialized;
Language: Russian Publication details: Новосибирск Изд-во Сибирского отделения Российской академии наук 2011Other title: Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices.Availability: No items available :
|