Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент. Депозитарий (1)
- Библиотека РФФ (1)
- Читальный зал 5 (2)
-
Item types
- 1 неделя (1)
- 6 месяцев (1)
- Выдается по месту хранения (2)
-
Topics
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- глубокая очистка (1)
- дефектообразование в приборных структурах (2)
- дефекты в кристаллах, классификация (2)
- дислокационная структура кристаллов (1)
- дистилляционные методы (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- ионно-лучевое легирование полупроводников (1)
- квантоворазмерные структуры (2)
- контроль качества подложек (1)
- контрольные вопросы (1)
- кремний на диэлектрике, структуры (2)
- кристаллы бездислокационные (2)
- микротехнологии в микросистемной технике (2)
- микроэлектроника (2)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (2)
- нанотехнологии в микросистемной технике (2)
- осаждение диэлектрических слоев (2)
- осаждение тонких пленок (2)
- радиационно-термические обработки (2)
- Show more
- Show less