Refine your search
Availability
-
bib-level
-
Authors
-
Locations
- Читальный зал 5 (1)
-
Item types
-
Topics
- высокочистые материалы для электронной техники (1)
- глубокая очистка (1)
- дефектообразование в приборных структурах (1)
- дефекты в кристаллах, классификация (1)
- дистилляционные методы (1)
- диффузионное легирование полупроводников (1)
- ионно-лучевое легирование полупроводников (1)
- квантоворазмерные структуры (1)
- контроль качества подложек (1)
- кремний на диэлектрике, структуры (1)
- кристаллизационные методы (1)
- кристаллы бездислокационные (1)
- литографические процессы (2)
- материалы микроэлектроники, структурные дефекты (1)
- микротехнологии в микросистемной технике (1)
- микроэлектроника (1)
- наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание (1)
- нанотехнологии (1)
- нанотехнологии в микросистемной технике (1)
- наноэлектроника (1)
- Show more
- Show less