Плазмохимический синтез аморфных углеводородных пленок, легированных кремнием, кислородом и азотом А. С. Гренадёров, К. В. Оскомов, А. А. Соловьев [и др.]
Material type:
ArticleSubject(s): плазмохимический синтез | легированный аморфный углерод | Фурье-ИК спектроскопия | рамановская спектроскопияGenre/Form: статьи в журналах Online resources: Click here to access online
In:
Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 7. С. 97-104Abstract: Получены и исследованы аморфные углеводородные (a-C:H) пленки, легированные Si, O и N. Пленки наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана, аргона и азота. Исследовано влияние содержания азота в пленках на их физико-механические свойства. Состав пленок изучали методами рентгеновской флуоресцентной спектроскопии и инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура пленок изучалась с использованием рамановской спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок были определены с помощью наноин-дентирования. Показано, что химический состав и свойства a-C:H:SiOx:N-пленок можно контролировать путем изменения парциального давления азота в процессе осаждения. Увеличение содержания азота в a-C:H:SiOx:N- пленке приводит к росту ее среднеквадратической шероховатости и угла смачивания с водой. Также это сопровождается уменьшением содержания углерода в пленке и уменьшением ее твердости, обусловленным уменьшением содержания sp3-фазы углерода.
Библиогр.: 30 назв.
Ограниченный доступ
Получены и исследованы аморфные углеводородные (a-C:H) пленки, легированные Si, O и N. Пленки наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана, аргона и азота. Исследовано влияние содержания азота в пленках на их физико-механические свойства. Состав пленок изучали методами рентгеновской флуоресцентной спектроскопии и инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура пленок изучалась с использованием рамановской спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок были определены с помощью наноин-дентирования. Показано, что химический состав и свойства a-C:H:SiOx:N-пленок можно контролировать путем изменения парциального давления азота в процессе осаждения. Увеличение содержания азота в a-C:H:SiOx:N- пленке приводит к росту ее среднеквадратической шероховатости и угла смачивания с водой. Также это сопровождается уменьшением содержания углерода в пленке и уменьшением ее твердости, обусловленным уменьшением содержания sp3-фазы углерода.
There are no comments on this title.