Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
- Громов, Дмитрий Геннадьевич (1)
- Зи, С. М. (1)
- Могэб, К. (1)
- Фичтнер, У. (1)
- Фрейзер, Д. (1)
- Чистяков, Юрий Дмитриевич (1)
- Show more
- Show less
-
Locations
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- 1 месяц (1)
- Выдается в читальный зал (2)
-
Topics
- Damascene, технология металлизации интегральных схем (1)
- Интегральные схемы (1)
- Металлизация (1)
- герметизация интегральных схем (1)
- диагностика интегральных схем (1)
- диффузионно-барьерные слои (1)
- интегральные схемы сверхбольшие кремниевые (2)
- ионная имплантация интегральных схем (1)
- ионно-плазменные технологии (1)
- контроль интегральных схем (1)
- литография интегральных схем (1)
- медные многоуровневые межсоединения (1)
- металлизация интегральных схем (1)
- металлизация многослойная многоуровневая (1)
- миниатюризация интегральных схем (1)
- надежность интегральных схем (1)
- сборка интегральных схем (1)
- силицидные контактные слои (1)
- силицидообразующие системы металл-кремний (1)
- тестирование интегральных схем (1)
- Show more
- Show less