Normal view
MARC view
Нитрид кремния в электронике [В. И. Белый, Л. Л. Васильева, В. А. Грищенко и др. ]; Отв. ред. А. В. Ржанов
Material type:
TextPublication details: Новосибирск Наука, Сибирское отделение 1982Description: 200 с. ил. 21 смSubject(s): Кремний, нитрид | Микроэлектронные схемы интегральные - Материалы
| Item type | Current library | Call number | Copy number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-460542к (Browse shelf(Opens below)) | 1 | Available | 13820000263654 |
Авт. указаны на обороте тит. л.; В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников, Ин-т неорган. химии
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.