Normal view
MARC view
Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы Ч. 1 В. И. Иванов, Н. И. Николайкин, Э. Б. Сигалов
Material type: TextSeries: Обзоры по электронной техникеPublication details: Москва Электроника 1977Description: 35 с., 6 л. таблOther title: Тенденции развития и классификация реакторов (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977 гг.) [Distinctive title]Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
---|---|---|---|---|---|---|
Выдается в читальный зал | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-324157 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000917026 |
Библиогр.: с. 32-35
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.