Normal view
MARC view
Оборудование полупроводникового производства [П. Н. Масленников, К. А. Лаврентьев, А. Д. Гингис и др.] ; под ред. П. Н. Масленникова
Material type:
TextPublication details: Москва Радио и связь 1981Description: 335, [1] с. ил., таблSubject(s): учебные издания для вузов | производство полупроводниковых приборов | производство интегральных микросхем | технологическое оборудование | оборудование для обработки пластин | планарные технологии | диффузионно-окислительные системы | системы ионного легирования | эпитаксиальные преобразователи | оборудование для получения эпитаксиальных пленок | оборудование для осаждения пленок | вакуумно-напылительное оборудование | фотолитографическое оборудование | монтажно-сборочное оборудование | кристаллизационные установки | герметизирующее оборудование | контрольно-измерительная аппаратура | испытательное оборудование | технологические процессы | обеспечение микроклимата | очистка сред | технологические средства, требования | автоматизация технологических процессов | промышленные роботы
| Item type | Current library | Call number | Status | Date due | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 месяц | Научная библиотека ТГУ Книгохранилище | 1-457335 (Browse shelf(Opens below)) | Available | 13820000911769 |
Авт. указ. на обороте тит. л.
Библиогр.: с. 330-333
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.