Refine your search
Availability
-
bib-level
- m (2)
-
Authors
-
Locations
- Абонемент (2)
- Книгохранилище (2)
-
Item types
- 6 месяцев (2)
- Выдается в читальный зал (2)
-
Topics
- Интегральные схемы (1)
- Нанотехнология (1)
- Применение в радиотехнике (1)
- Производство (1)
- абразивная обработка (1)
- диоксид кремния, осаждение (1)
- диэлектрические материалы (1)
- диэлектрические пленки, методы формирования (1)
- интегральные микротехнологии (2)
- металлы, обработка термическая стабилизирующая (1)
- микроэлектроника, методы рентгенолитографические (2)
- микроэлектроника, методы фотолитографические (2)
- микроэлектроника, технологические процессы (2)
- наноэлектроника, технологические процессы (2)
- пленки тонкие, легирование термодиффузионное (2)
- пленки тонкие, распыление ионно-плазменное (2)
- подложки, поверхности (2)
- подложки, травление плазмохимическое (2)
- подложки, удаление вещества с поверхности (2)
- учебные пособия для вузов (2)
- Show more
- Show less